Oberflächenanalyse von Si/SiGe-Schichten formatIsbn:Softcover - 9783838651125 Allerdings steht ein Großteil der

Allerdings steht ein Großteil der Bevölkerung dieser Technologie skeptisch gegenüber

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Oberflächenanalyse von Si/SiGe-Schichten formatIsbn:Softcover - 9783838651125 Allerdings steht ein Großteil derInhaltsangabe: Zusammenfassung: In der vorliegenden Arbeit wurde ein Prozess entwickelt, der es erlaubt, die Versetzungsdichten in Si SiGe Heterostrukturen zu bestimmen. Dabei wurde im Besonderen Wert auf eine Einfhrung in die Untersuchungsmethoden der Oberflchenmorphologie von Nanostrukturen, mittels Atomkraft , Rastertunnel , und Polarisationsmikroskop, gelegt. Diese Arbeit soll fr Interessierte einen erleichterten Einstieg in die